磁控溅射真空镀膜机
真空磁控溅射镀膜机广泛应用于家用电器、钟表、灯具、工艺美术品、玩具、车灯反光罩、手机按键外壳以及仪器仪表、塑料、玻璃、陶瓷、磁砖等表面装饰性镀膜及工模具的功能涂层。本公司的磁控溅射镀膜机有几大优势如膜厚可控性和重复性好；薄膜与基片的附着力强；制备特殊材料的薄膜，可以使用不同的材料同时溅射制备混合膜，化合膜，TiN仿金膜；膜层纯度高等。
型号 | CK-700 | CK-900 | CK-1000 | CK-1250 | CK-1400 | CK-1600 |
真空室尺寸 | Ф700×H 900mm | Ф900×H 1100mm | Ф1000×H 1200mm | Ф1250×H 1350mm | Ф1400×H 1600mm | Ф1600×H 1800mm |
电源类型 | 脉冲偏压电源、直流磁控电源 | |||||
真空室结构 | 立式双开门、立式前开门结构、后置抽气系统 | |||||
真空室材质 | SS304优质不锈钢材质腔体 | |||||
极限真空 | 8.0×10-4Pa | 8.0×10-4Pa | 8.0×10-4Pa | 8.0×10-4Pa | 8.0×10-4Pa | 8.0×10-4Pa |
抽气时间 | 从大气抽至6.7×10-3Pa用时8到15分钟(空载洁净） | |||||
真空获得系统 | 扩散泵+罗茨泵+机械泵+维持泵（具体型号可根据客户的要求进行配置） | |||||
磁控靶类型 | 平面磁控靶，圆柱形磁控靶 | |||||
偏压电源功率 | 25KW | 25KW | 30KW | 30KW | 40KW | 40KW |
转架转动方式 | 行星式公自转、变频调速（可控可调，可设定上下转架，轴数可由实际情况而定） | |||||
工艺气体 | 质量流量控制仪（3-4路），手动或自动加气系统 | |||||
冷却方式 | 水循环冷却方式，另需配冷却水塔或工业冷水机或深冷系统（客户提供） | |||||
控制方式 | 手动或PLC+触摸屏操作 | |||||
报警及保护 | 水压报警，气压报警，过流保护，执行相应保护措施及电气联锁功能。 | |||||
设备占地面积 | W3m× L3.5m | W3m× L3.5m | W3.5m× L5m | W3.5m× L5m | W4.5m× L5.5m | W4.5m× L5.5m |
其他技术参数 | 水压≥0.2MPa、水温≤25℃、气压0.5-0.8MPa | |||||
备注 | 具体配置大小均可根据客户的镀膜产品要求进行设计，另可加配中频电源和弧电源满足不同镀膜工艺要求。可定制的真空室尺寸范围 Ф 500-3000mm，高度500-3000mm | |||||
