硬质镀膜设备系列
1、空心阴极等离子镀膜机（刀具涂层，硬质合金）
1.1空心阴极，它利用钽管管内辉光放电的空心阴极效应导致钽管温度白炽状态强烈发射电子形成弧光放电，产生高密度等离子体电力流引向坩埚使镀料蒸发汽化、电离（或通过反应气体反应）在工件上沉积成膜，该设备有特制工件机构，可实现公自转配有PID控制器，炉温±1℃。
空心阴极离子镀的等离子体浓度大、离化率高，所沉积膜层结合力好，组织细密光亮，颜色鲜艳，特别适用于工具硬质膜，也可以用于五金装饰镀膜，可镀TiN、TiC、TiCN等铣刀、滚齿刀等，生产周期3-5小时。
2、类金刚石 （DLC）
2.1类金刚石薄膜不但具有较高的硬度、化学惰性、低摩擦系数，而且具有优异的耐磨性、表面电阻高。
DLC涂层真空镀膜机制备的DLC涂层（类金刚石涂层），具备质量稳定，与基体结合力好，耐磨性好，摩擦系数低，耐腐蚀性好等综合优良性能。广泛应用于发动机零部件，有色金属切削刀具，有色金属及不锈钢等成型冲压模具，滑动密封部件，半导体行业模具，注塑模具，纺织行业等。针对不同的行业，并根据客户不同的要求及材料，我们运用不同的工艺及制备方法，设计出相适应的DLC涂层真空镀膜设备，以满足客户的需要。
DLC涂层真空镀膜特点：
1、是一个很好的自润滑塑料加工应用涂层；
2、涂层特别致密，不起化学作用，沉积膜是1～3μm，硬度是2000HV～2500HV；
3、具有优异的摩擦磨损性能，耐高温350℃，并具有很高的耐粘接剂和磨粒磨损。
型号 | DLC-800 | DLC-860 | DLC-1000 |
镀膜室尺寸 | Ф800×H800mm | Ф800×H860mm | Ф1000×H1000mm |
电源类型 | 脉冲偏压电源；直流磁控电源；平面靶磁控电源； 多弧直流电源；离子源电源 | ||
真空室结构 | 立式前开门结构、后置抽气系统 | ||
真空室材质 | SS304优质不锈钢材质腔体 | ||
极限真空（Pa） | 8.0×10-4 | 8.0×10-4 | 8.0×10-4 |
抽气时间 | 从大气抽至6.7×10-3Pa用时8到15分钟(空载洁净） | ||
镀膜温度 | 150℃ | ||
真空获得系统 | 分子泵+罗茨泵+机械泵+维持泵 （具体型号可根据客户的要求进行配置） | ||
转架转动方式 | 行星式公自转、变频调速 （可控可调，可设定上下转架，轴数可由实际情况而定） | ||
工艺气体 | 质量流量控制仪（3-4路），手动或自动加气系统 | ||
冷却方式 | 水循环冷却方式，另需配冷却水塔或工业冷水机或深冷系统（客户提供） | ||
控制方式 | 手动或PLC触摸屏操作 | ||
报警及保护 | 水压报警，气压报警，过流保护，执行相应保护措施及电气联锁功能。 | ||
设备占地面积 | W3m×L3m | W3m×L3.5m | W3m×L3.5m |
其他技术参数 | 水压≥0.2MPa、水温≤25℃、气压0.5-0.8MPa | ||
备注 | 具体配置大小均可根据客户的镀膜产品要求进行设计。 镀膜室尺寸实际范围直径0.5-1m，高度0.5-1.2m。 | ||
