多弧离子真空镀膜机
多弧离子真空镀膜机主要针对各种金属，玻璃，陶瓷进行表面镀膜，经离子镀膜加工后的工件，可以提高硬度、耐磨度，抗腐蚀和美化的作用。除此之外还具有抽速快、真空稳定、装载量大、镀膜均匀好的特点。应用行业如钟表行业(表带、表壳、表盘等)；玻璃陶瓷行业（玻璃餐具、陶瓷工艺品）；五金行业（卫生洁具、门把手、拉手、门锁等）；建筑行业（不锈钢板、楼梯扶手、立柱等）；精密模具业（冲棒标准件模具、成型模具等）；工具行业（钻头、硬质合金、铣刀、拉刀、刀头）；汽车工业（活塞、活塞环、合金轮毂等）以及钢笔、眼镜等等，使其表面得到既美观又耐磨的功能性磨层。
技术参数
型号 | LZ-1000 | LZ-1200 | LZ-1300 | LZ-1600 | LZ-2100 | LZ-2300 | |||||
真空室尺寸 | Ф1000×H 1000mm | Ф1200×H 1300mm | Ф1300×H 1300mm | Ф1600×H 1800mm | Ф2100×H 3600mm | Ф2300×H 4500mm | |||||
电源类型 | 脉冲偏压电源；弧电源（可根据客户要求加配不同电源） | ||||||||||
真空室结构 | 立式双开门、立式前开门结构、后置抽气系统 | ||||||||||
真空室材质 | SS304优质不锈钢材质腔体 | ||||||||||
极限真空 | 8.0×10-4Pa | 8.0×10-4Pa | 8.0×10-4Pa | 8.0×10-4Pa | 8.0×10-4Pa | 8.0×10-4Pa | |||||
抽气时间 | 从大气抽至6.7×10-3Pa用时8到15分钟(空载洁净） | ||||||||||
真空获得系统 | 扩散泵+罗茨泵+机械泵+维持泵（具体型号可根据客户的要求进行配置） | ||||||||||
多弧靶数量 | 4 | 8 | 8 | 16 | 36 | 45 | |||||
转架转动方式 | 行星式公自转、变频调速（可控可调，可设定上下转架，轴数可由实际情况而定） | ||||||||||
工艺气体 | 质量流量控制仪（3-4路），手动或自动加气系统 | ||||||||||
冷却方式 | 水循环冷却方式，另需配冷却水塔或工业冷水机或深冷系统（客户提供） | ||||||||||
控制方式 | 手动或PLC+触摸屏操作 | ||||||||||
报警及保护 | 水压报警，气压报警，过流保护，执行相应保护措施及电气联锁功能 | ||||||||||
设备占地面积 | W3m× L3.5m | W3.5m× L5m | W3.5m× L5m | W4.5m× L5.5m | W4.5m× L11m | W5m× L12m | |||||
其他技术参数 | 水压≥0.2MPa，水温≤25℃，气压0.5-0.8MPa | ||||||||||
备注 | 具体配置大小均可根据客户的镀膜产品要求进行设计。另可加配直流磁控电源和中频电源满足不同镀膜工艺要求。可定制的真空室尺寸范围Ф500-3000mm，高度500-7000mm | ||||||||||
