磁控溅射真空镀膜机
真空磁控溅射镀膜机广泛应用于家用电器、钟表、灯具、工艺美术品、玩具、车灯反光罩、手机按键外壳以及仪器仪表、塑料、玻璃、陶瓷、磁砖等表面装饰性镀膜及工模具的功能涂层。本公司的磁控溅射镀膜机有几大优势如膜厚可控性和重复性好；薄膜与基片的附着力强；制备特殊材料的薄膜，可以使用不同的材料同时溅射制备混合膜，化合膜，TiN仿金膜；膜层纯度高等。
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型号 |
CK-700 |
CK-900 |
CK-1000 |
CK-1250 |
CK-1400 |
CK-1600 |
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真空室尺寸 |
Ф700×H 900mm |
Ф900×H 1100mm |
Ф1000×H 1200mm |
Ф1250×H 1350mm |
Ф1400×H 1600mm |
Ф1600×H 1800mm |
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电源类型 |
脉冲偏压电源、直流磁控电源 |
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真空室结构 |
立式双开门、立式前开门结构、后置抽气系统 |
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真空室材质 |
SS304优质不锈钢材质腔体 |
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极限真空 |
8.0×10-4Pa |
8.0×10-4Pa |
8.0×10-4Pa |
8.0×10-4Pa |
8.0×10-4Pa |
8.0×10-4Pa |
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抽气时间 |
从大气抽至6.7×10-3Pa用时8到15分钟(空载洁净） |
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真空获得系统 |
扩散泵+罗茨泵+机械泵+维持泵（具体型号可根据客户的要求进行配置） |
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磁控靶类型 |
平面磁控靶，圆柱形磁控靶 |
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偏压电源功率 |
25KW |
25KW |
30KW |
30KW |
40KW |
40KW |
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转架转动方式 |
行星式公自转、变频调速（可控可调，可设定上下转架，轴数可由实际情况而定） |
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工艺气体 |
质量流量控制仪（3-4路），手动或自动加气系统 |
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冷却方式 |
水循环冷却方式，另需配冷却水塔或工业冷水机或深冷系统（客户提供） |
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控制方式 |
手动或PLC+触摸屏操作 |
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报警及保护 |
水压报警，气压报警，过流保护，执行相应保护措施及电气联锁功能。 |
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设备占地面积 |
W3m× L3.5m |
W3m× L3.5m |
W3.5m× L5m |
W3.5m× L5m |
W4.5m× L5.5m |
W4.5m× L5.5m |
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其他技术参数 |
水压≥0.2MPa、水温≤25℃、气压0.5-0.8MPa |
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备注 |
具体配置大小均可根据客户的镀膜产品要求进行设计，另可加配中频电源和弧电源满足不同镀膜工艺要求。可定制的真空室尺寸范围 Ф 500-3000mm，高度500-3000mm |
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