立式大型多弧离子真空镀膜机
多弧离子镀设备是一种高效、无害、无污染的离子镀膜设备，具有沉积速度快、离化率高、离子能量大、设备操作简单、成本低、生产量大的优点。
真空电弧离子的原理是基冷阴极自持弧光放电结合脉冲技术及磁控溅射技术，使沉积粒子细化，膜层的各项性能得以提高。它不仅能在金属制品表面进行镀膜而且能在非金属制品表面制品上进行镀膜，可以镀金属膜、氮化钛、碳化钛、氮化锆、氮化铬、及钛、镍、铬、铜、等化合物膜、多层超硬膜、氮化钛掺金膜和合金膜，并能在极短的时间内完成全部加工工艺过程，是一种多功能高效镀膜设备。广泛应用于工具、模具的超硬涂层，汽车轮毂、陶瓷、高尔夫、表壳表带、锁具、酒店用品、卫浴洁具、灯具、眼镜镜架、五金制品的装饰涂层等领域。多弧离子镀膜机用于不同档次五金产品，一般的建筑五金件、锁具，用多弧离子镀膜设备可胜任，中高档次产品如表带表壳、眼镜框、手机壳、高尔夫球具、卫浴洁具、饰品等。
型号 | LZ-1500 | LZ-1800 | LZ-2000 | LZ-2200 | LZ-2300 | LZ-4200 | LZ-3200 | |||||
真空室 尺寸 | Ф1500×H | Ф1800×H | Ф2000×H | Ф2200×H | Ф2300×H | Ф2300×H | Ф3200×H | |||||
3500mm | 3500mm | 4000mm | 4500mm | 3500mm | 4200mm | 2100mm | ||||||
电源类型 | 脉冲偏压电源；弧电源（可根据客户要求加配不同电源） | |||||||||||
真空室 结构 | 立式 / 卧式结构、后置抽气系统 | |||||||||||
真空室 材质 | SS304优质不锈钢材质腔体 | |||||||||||
极限真空 | 6.7×10-3Pa | 6.7×10-3Pa | 6.7×10-3Pa | 6.7×10-3Pa | 6.7×10-3Pa | 6.7×10-3Pa | 6.7×10-3Pa | |||||
抽气时间 | 从大气抽至6.7×10-3Pa用时8到15分钟(空载洁净） | |||||||||||
真空 获得系统 | 扩散泵+罗茨泵+机械泵+维持泵（具体型号可根据客户的要求进行配置） | |||||||||||
多弧靶 数量 | 24 | 26 | 30 | 36 | 30 | 40 | 30 | |||||
加热系统 | 60KW | 60KW | 75KW | 80KW | 80KW | 80KW | 60KW | |||||
偏压电源 | 10KW | 10KW | 12KW | 12KW | 20KW | 20KW | 20KW | |||||
旋转系统 | 6~8轴 | 3040 | 2440 | |||||||||
三张板 | 三张板 | |||||||||||
工艺 气体 | 质量流量控制仪（3-4路），手动或自动加气系统 | |||||||||||
冷却 方式 | 水循环冷却方式，另需配冷却水塔或工业冷水机或深冷系统（客户提供） | |||||||||||
控制方式 | 手动或PLC+触摸屏操作 | |||||||||||
报警及保护 | 水压报警，气压报警，过流保护，执行相应保护措施及电气联锁功能 | |||||||||||
设备 占地积 | W3m × L3.5m | W3.5m × L5m | W3.5m × L5m | W4.5m×L5.5m | W4.5m×L11m | W5m×L12m | ||||||
其他技术参数 | 水压≥0.2MPa，水温≤25℃，气压0.5-0.8MPa | |||||||||||
备注 | 具体配置大小均可根据客户的镀膜产品要求进行设计。另可加配直流磁控电源和中频电源满足不同镀膜工艺要求。可定制的真空室尺寸范围Ф500-3500mm，高度500-7000mm | |||||||||||
