多功能中频镀膜机
多功能中频镀膜机主要用于镀制多种金属膜，也可以镀多层膜、合金膜及化学物质，如超硬耐磨损膜、防腐蚀膜、装饰膜（金、银、黑、红、蓝、绿等颜色）、结合磁控溅射技术可镀制多层复合膜，可以镀制不锈钢、铝、钛、钨等多种金属膜，也可镀制如类金刚石膜（DLC）、TiN、TiC、TiCN、TiAlN、CrN、CU、AU、装饰膜等非金属及其化合物的膜层和复合膜层。适用于五金件、玻璃工艺品、陶瓷工艺品等，如手表、手机金属壳、洁具、模具、电子产品、水晶玻璃、眼镜框、餐具、刀具等。近年，电弧离子镀膜技术得到了很大的发展，从原来单一的小弧源发展到柱弧、大平面弧等。而且与中频磁控溅射技术的结合使得设备的适用面更广，比如在硬质涂层的应用、更光洁细密的装饰涂层的应用等。
型号 | ZP-700 | ZP-900 | ZP-1000 | ZP-1250 | ZP-1400 | ZP-1600 |
真空室尺寸 | Ф700×H 900mm | Ф900×H 1100mm | Ф1000×H 1200mm | Ф1250×H 1350mm | Ф1400×H 1600mm | Ф1600×H 1800mm |
电源类型 | 中频磁控电源；脉冲偏压电源；多弧电源 | |||||
真空室结构 | 立式双开门、立式前开门结构、后置抽气系统 | |||||
真空室材质 | SS304优质不锈钢材质腔体 | |||||
极限真空 | 8.0×10-4Pa | 8.0×10-4Pa | 8.0×10-4Pa | 8.0×10-4Pa | 8.0×10-4Pa | 8.0×10-4Pa |
抽气时间 | 从大气抽至6.7×10-3Pa用时8到15分钟(空载洁净） | |||||
真空获得系统 | 扩散泵+罗茨泵+机械泵+维持泵（具体型号可根据客户的要求进行配置） | |||||
磁控靶类型 | 圆柱形磁控靶、孪生磁控对靶 | |||||
磁控靶数量 | 根据不同镀膜工艺和客户的需求进行选配 | |||||
转架转动方式 | 行星式公自转、变频调速（可控可调，可设定上下转架，轴数可由实际情况而定） | |||||
工艺气体 | 质量流量控制仪（3-4路），手动或自动加气系统 | |||||
冷却方式 | 水循环冷却方式，另需配冷却水塔或工业冷水机或深冷系统（客户提供） | |||||
控制方式 | 手动或PLC+触摸屏操作 | |||||
报警及保护 | 水压报警，气压报警，过流保护，执行相应保护措施及电气联锁功能。 | |||||
设备占地面积 | W3m×L3.5m | W3m×L3.5m | W3.5m×L5m | W3.5m×L5m | W4.5m×L6m | W5m×L6m |
其他技术参数 | 水压≥0.2MPa，水温≤25℃，气压0.5-0.8MPa | |||||
备注 | 具体配置大小均可根据客户的镀膜产品要求进行设计。 可定制的真空室尺寸范围Ф500-3000mm，高度500-3000mm。 | |||||
