DLC涂层真空镀膜机
产品名称
DLC涂层真空镀膜机
产品简介
DLC涂层真空镀膜机制备的DLC涂层（类金刚石涂层），质量稳定，与基体结合力 附着力好，具有耐腐蚀、耐磨损性，摩擦系数低、使用寿命长等优点，广泛应用于发动机零部件，滑动密封部件，有色金属切削刀具，工量具，航空航天，纺织设备及零部件，磨损零部件（如轴承、顶杆，铍铜、铝合金）等表面加硬，精密半导体成型模具，医疗器械&植入物，高等热部件及不锈钢等成型冲压模具等。
技术参数
型号 | DLC-800 | DLC-860 | DLC-1000 | ||
真空室尺寸
| Ф800×H800mm | Ф800×H860mm | Ф1000×H1000mm | ||
电源类型 | 脉冲偏压电源；直流磁控电源；平面靶磁控电源；多弧直流电源；离子源电源 | ||||
真空室结构 | 立式前单/双开门，后置抽气系统 | ||||
真空室材质 | SUS-304优质不锈钢 | ||||
极限真空 | 8.0×10-4Pa | 8.0×10-4Pa | 8.0×10-4Pa | ||
抽气速率 | 从大气抽至6.7×10-3Pa用时8到15分钟(室温空载洁净） | ||||
镀膜温度 | 150℃ | ||||
真空获得系统 | 扩散泵+罗茨泵+机械泵+维持泵（具体型号可根据客户的要求进行配置） | ||||
转架转动系统 | 行星式公自转，变频调速，可设定上下转架，轴数可由实际情况而定 | ||||
工艺气体 | 质量流量控制仪（3-4路），手动或自动加气系统 | ||||
冷却系统 | 水循环冷却系统。另需配冷却水塔或工业冷水机或深冷系统（客户提供） | ||||
控制系统 | 手动或PLC+触摸屏操作 | ||||
报警及保护 | 水压报警，气压报警，过流保护，执行相应保护措施及电气联锁功能。 | ||||
设备占地面积 | W3m×L3m | W3m×L3.5m | W3m×L3.5m | ||
其他技术参数 | 水压≥0.2MPa，水温≤25℃，气压0.5-0.8MPa | ||||
备注 | 具体配置大小均可根据客户的镀膜产品要求进行设计。 可定制的真空室尺寸范围Ф 500-1000mm，高：500-1200mm。 | ||||
测试结果
涂层材料 | CrN + a-C:H |
DLC涂层厚度 | 2～3μm |
DLC涂层硬度(HV 0.01)* | ≥2000 |
与钢铁摩擦系数 | 0.05~0.16 |
涂层结合力 | ≥28N |
颜色 | 黑色 |
最大工作温度 | 350℃ |
